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반도체 리소그래피란? 리소그래피 공정 7단계
반도체 리소그래피란? 반도체 리소그래피() 또는 포토 리소그래피()는 반도체 리소그래피()의 일종으로, 대형 유리판으로 만들어진 포토마스크에 그려진 매우 복잡한 회로 패턴에서 초고성능 렌즈의 축소판으로 전환하여 웨이퍼로 알려진 실리콘 기판에 노출되는 공정이다. 명료한 말로 표현하자면, 집적회로(IC)의 제작은 반도체(예: 실리콘) 기판에서 수행되는 물리적, 화학적 공정의 합성을 요구한다. 공정 분류에서 다양한 공정은 필름 증착, 패턴화, 반도체 도핑으로 구분된다. 폴리실리콘, 알루미늄, 그리고 다양한 형태의 이산화규소, 질화규소 및 기타로 분기된 구리와 절연체의 도움으로 두 도체의 필름은 트랜지스터와 그 구성 요소를 연결하고 설정하는 데 사용된다. 실리콘의 다양한 영역을 선택적으로 도핑함으로써 실리콘 웨..
2022. 6. 28.